（上海工研院，全稱“上海微技術(shù)工業(yè)研究院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定區(qū)政府和新微集團發(fā)起共建，依托新微集團“三位一體”協(xié)同創(chuàng)新體系，打造集科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)、成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)孵化和人才培養(yǎng)于一體的研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺。通過“超越摩爾”集成電路領(lǐng)域全流程中試和關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)，為合作伙伴與創(chuàng)新團隊提供全面技術(shù)支持和產(chǎn)業(yè)孵化服務(wù)。上海工研院是國務(wù)院國資委“科改行動”標(biāo)桿企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、上海市“專精特新”企業(yè)，連續(xù)兩年入選上海市硬核科技企業(yè)TOP100，已累計申請專利突破1000件，培育孵化公司20余家，總估值超過150億元。上海工研院立足上海、面向長三角、輻射全國，構(gòu)建科學(xué)研究+技術(shù)攻關(guān)+產(chǎn)業(yè)孵化+資本賦能+人才高地全過程創(chuàng)新和高質(zhì)量孵化生態(tài)鏈，建設(shè)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合發(fā)展的“超越摩爾”功能型平臺和產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動“超越摩爾”領(lǐng)域新質(zhì)生產(chǎn)力躍升。
上海工研院于2017年建成全國首條8英寸研發(fā)中試線，潔凈室面積近5000平方米，硬件投入超10億元，擁有主流設(shè)備150多臺，可提供智能傳感器、硅基光子學(xué)、生物芯片等“超越摩爾”核心工藝技術(shù)，為產(chǎn)品設(shè)計公司提供高效的工藝研發(fā)和中試服務(wù)，為裝備和材料公司提供測試驗證服務(wù)。研發(fā)中試線是上海工研院高效運轉(zhuǎn)的“發(fā)動機”。
上海工研院硅光工藝平臺具備90nm高精度光刻、晶體外延、介質(zhì)薄膜生長、干法及濕法刻蝕、摻雜、金屬互連和在線工藝檢測等成套關(guān)鍵工藝能力，并針對不同應(yīng)用場景，實現(xiàn)了220nm薄硅SOI、1.5~3μm厚硅SOI、SiN等多套集成工藝開發(fā)。2023年平臺發(fā)布了基于90nm工藝節(jié)點的 SOI PDK，核心器件庫性能達到國際主流水平。平臺提供光收發(fā)、光傳感等多種類型硅光芯片的研發(fā)和小批量流片服務(wù)。