mems傳感器通常也被叫做微電子機械系統(tǒng)，它指的是尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置中，作為一個獨立的智能系統(tǒng)，其發(fā)揮出的作用是極為強大的。那么，今天就為大家詳細介紹一下mems加速度傳感器工作原理，希望能為大家?guī)韰⒖紟椭?/p>

mems加速度傳感器工作原理

我們以MEMS壓阻式加速度傳感器為例，來了解一下mems加速度傳感器的常見工作原理。

MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件主要是由質(zhì)量塊、彈性梁、固定框三大部分組成的。壓阻式加速度傳感器從實質(zhì)上來講，它是一個力傳感器，可用測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時，將產(chǎn)生的力F來測得加速度的。在目前研究尺度內(nèi)，我們能夠認為它的原理仍遵從牛頓第二定律。而當有加速度a作用于傳感器時，傳感器的慣性質(zhì)量塊便會產(chǎn)生一個慣性力,該慣性力F會作用于傳感器的彈性梁上，如此一來，就會產(chǎn)生一個正比于F的應變。而此時彈性梁上的壓敏電阻也會隨著產(chǎn)生一個變化量△R，并由壓敏電阻組成的惠斯通電橋輸出一個與△R成正比的電壓信號V，該系統(tǒng)的信號檢測電路可采用壓阻全橋作為該信號的檢測電路。

電橋采用恒壓源供電，橋壓為。設、為正應變電阻，為負應變電阻，在進行電阻布局時，我們要在電阻布局、制造工藝上都要保證亞敏電阻的一致性，所以能夠認為亞敏電阻和其變化量都是相等的。

以上就是關于mems加速度傳感器工作原理的介紹了，相信大家在看完本文介紹以后，對于mems加速度傳感器工作原理也能夠有一個更加深入的了解了！伴隨著工業(yè)4.0的到來，mems加速度傳感器的技術也正朝向著越來越智能化的、穩(wěn)定化的方向發(fā)展。未來，mems加速度傳感器的應用也會越來越廣泛，并深受人們青睞。